在科學(xué)技術(shù)的發(fā)展進(jìn)程中，顯微鏡技術(shù)的進(jìn)步極大地拓寬了我們對(duì)世界的認(rèn)知。繼掃描電子顯微鏡（SEM）和透射電子顯微鏡（TEM）之后，雙束電鏡以其配置和功能，為材料科學(xué)、半導(dǎo)體工業(yè)乃至生物科學(xué)領(lǐng)域的研究者提供了一個(gè)精細(xì)觀察與分析平臺(tái)。
雙束電鏡，顧名思義，配備了兩套電子光學(xué)系統(tǒng)，一套用于掃描樣品表面產(chǎn)生高分辨率的圖像（如同SEM的功能），另一套則可以精準(zhǔn)地對(duì)樣品進(jìn)行切割、鉆孔或沉積物質(zhì)，這種技術(shù)被稱為聚焦離子束（FIB）系統(tǒng)。將SEM與FIB結(jié)合的雙束電鏡，不僅具備掃描電鏡的高分辨率觀察能力，還增加了復(fù)雜的樣品制備與微納加工能力，使得它在故障分析、材料表征及納米尺度的修改和制造上顯得尤為突出。
在操作原理方面，雙束電鏡通過(guò)電子束進(jìn)行表面形貌觀察，而利用離子束進(jìn)行微納加工。電子束產(chǎn)生的信號(hào)，如二次電子和背散射電子，被探測(cè)器捕捉后形成圖像；而離子束則能根據(jù)需要對(duì)樣品進(jìn)行局部切割，揭露材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)或制備透射電鏡所需的超薄樣本。這種雙束系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了在同一設(shè)備內(nèi)從宏觀到微觀、從外部形貌到內(nèi)部結(jié)構(gòu)的分析。
應(yīng)用范圍異常廣泛，雙束電鏡在集成電路的失效分析中可定位電路的微小缺陷；在材料科學(xué)中，可以揭示材料內(nèi)部的微觀結(jié)構(gòu)與缺陷；在地質(zhì)學(xué)領(lǐng)域，它能對(duì)礦物樣品進(jìn)行切割以觀察其內(nèi)部結(jié)構(gòu)。此外，生物學(xué)領(lǐng)域中，通過(guò)對(duì)生物樣本的精確切割，可以更好地了解細(xì)胞結(jié)構(gòu)。
雙束電鏡代表了當(dāng)前顯微鏡技術(shù)的發(fā)展水平，它集觀察、分析和加工于一體，開辟了新的科學(xué)研究與工業(yè)應(yīng)用道路。隨著未來(lái)技術(shù)的不斷進(jìn)步，可以預(yù)見，雙束電鏡將在材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造以及生物科學(xué)等領(lǐng)域發(fā)揮更加重要的作用，推動(dòng)微觀世界的探索向更深層次、更高精度邁進(jìn)。
