臺式薄膜探針反射儀

通過選擇合適的配方，FTPadv反射儀以小于100ms的測量速度、精度小于0.3nm、厚度范圍為50nm-25μm的精度進行厚度測量。

自動建模

通過測量反射光譜和光譜數據庫的比較，將測量誤差減到很小。

光譜橢偏SE為基礎的材料數據庫

基于SENTECH精確的橢偏光譜測量的大型材料庫為測量新材料的光學常數提供了配方。

應用

二十年來，SENTECH已經成功地銷售了用于各種應用的薄膜厚度探針FTPadv。這種臺式反射儀的特點是不管在低溫或高溫下，在工業或研發環境中，都能通過遠程或直接控制，對小樣品或大樣品進行實時或在線厚度測量。

臺式反射儀FTPadv精確、可重復地測量反射和透明襯底上透明和弱吸收膜的厚度和折射率。FTPadv可以結合在顯微鏡上，或者配備有穩定的光源，用于測量厚度達到25 µm (根據要求可更厚)的膜層。更具備了從SENTECH光譜橢偏儀經驗中受益的預定義的、經由客戶驗證的、以及隨時可以使用的應用程序的廣泛數據庫。

FTPadv的特征在于對來自疊層樣品的任何膜層的厚度進行測量，使得FTPadv成為膜厚測量的理想成本效益的解決方案。用于工藝控制的FTPadv包括具有采樣器的光纖束、具有鹵素燈的穩定光源以及FTP光學控制站。局域網連接到PC允許了遠程控制的FTPadv在工業應用，如惡劣環境，特殊保護空間或大型機械。

反射儀FTPadv帶有大量預定義的配方，例如半導體上的介質膜、半導體膜、硅上的聚合物、透明襯底上的膜、金屬襯底上的膜等等。自動建模特性允許通過與光譜庫的快速比較來檢測樣本類型。該反射儀將操作誤差減到很小。用光學反射法測量膜厚從未如此容易。

SENTECH FTPadv菜單驅動的操作軟件允許單層和疊層結構的厚度測量，具有操作指導。此外，它還具有強大的分析工具和出色的報告輸出功能。附加的自動掃描軟件可用于控制電動樣品臺。將軟件升級到用于反射測量的高級分析的軟件包FTPadv EXPERT，即可應用于具有未知或不恒定光學特性的材料。因此，單層薄膜厚度測量以及折射率和消光系數分析是可實現的。