晶體硅太陽電池

多晶硅和C-Si基太陽能電池的質(zhì)量控制解決方案

SENperc PV是為PERC太陽能電池制造質(zhì)量控制而設(shè)計(jì)的。它測(cè)量SiO2、Al2O3和SiNX單層膜和疊層膜，這些單層膜和疊層膜用于PERC電池(多晶硅襯底和c-Si襯底)的正面反射和背面鈍化。對(duì)沉積過程的穩(wěn)定性進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間的監(jiān)測(cè)。由此，優(yōu)化了維護(hù)時(shí)間間隔。

Al2O3和SiNx薄膜的厚度和折射率指數(shù)測(cè)量

SENperc PV 配備了基于配方的用于質(zhì)量控制按鈕操作。在樣品臺(tái)上放置一個(gè)PERC電池，涂有涂層的背面朝下以控制鈍化層。晶體硅太陽能電池插入到一個(gè)特殊的晶片架來分析防反射涂層。不需要對(duì)準(zhǔn)。雜散光不影響測(cè)量。測(cè)量到的厚度和折射率指數(shù)被保存到SQL數(shù)據(jù)庫中。

SiO2、Al2O3和SiNx沉積的長(zhǎng)期穩(wěn)定性監(jiān)測(cè)

統(tǒng)計(jì)制程控制(SPC)被應(yīng)用于PERC太陽能電池的評(píng)估。預(yù)置范圍應(yīng)用于良率分析。向操作人員提供直接和長(zhǎng)期的反饋，以便立即進(jìn)行干預(yù)。SQL數(shù)據(jù)庫在本地以及通過LAN可訪問，以支持電池跟蹤和良率分析。除了按鈕操作之外，SENpercPV還配備了強(qiáng)大的軟件接口，用于新配方的研發(fā)。