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電子束

激光光刻系統納米加工

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品牌	其他品牌	應用領域	醫療衛生,航空航天,綜合

用于以 FIB 為中心的納米加工的 FIB-SEM

VELION 是一種用于納米科學與工程的新型 FIB-SEM 儀器概念。FIB 納米加工已成為制造三維和高分辨率納米結構（例如等離子體裝置、納米流體、局部注入和功能化）的標準技術。VELION 滿足納米加工的嚴苛要求。該概念包括一個可配置平臺，其功能包括

專用 nanoFIB 離子柱
用于多物種離子束技術的液態金屬合金源
激光干涉儀平臺
定制的 FE-SEM 色譜柱
各種選項/系統配置，包括氣體注射和納米操縱器

VELION 具有垂直安裝的FIB 柱和側面安裝的 SEM。結合Raith 的激光干涉儀平臺和成熟的光刻技術，VELION 的 FIB-SEM 納米加工裝置。以FIB 為中心的專用系統架構可確保穩定性、準確性和自動化。即使是最復雜的 2D 和 3D 結構也可以在無人值守的情況下在大面積和長時間內按照最高精度標準制造。

此外，IONselect 技術提供一系列離子種類可供選擇。這一功能將為下一代研究的新突破鋪平道路。根據特定應用調整離子特性可增強 FIB 處理。在此處了解有關 nanoFIB 色譜柱的更多信息。

要獲得有關 nanoFIB 色譜柱或 IONselect 技術的更深入信息，您還可以下載相應的資料。

下載 NANOFIB

下載 IONSELECT

具有 3D 重建功能的高分辨率離子顯微鏡

用于創新納米加工的現代 FIB 柱設計還為高分辨率 FIB 成像提供的設置。專有的多物種離子源技術可以使用從同一源發出的鎵、鉍和鋰離子，并使用后續的維恩過濾器來最大限度地減少切換時間。作為 LMAIS 可用的最輕離子，鋰可實現最高橫向分辨率的離子圖像，而重 Ga 離子和 Bi 離子或 Bi 簇可用于精確的垂直銑削。將這些功能與激光干涉儀平臺的精度結合在一個工具中，VELION 成為一款強大的3D 成像離子顯微鏡。

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聚焦離子束掃描電鏡系統

用于以 FIB 為中心的納米加工的 FIB-SEM

具有 3D 重建功能的高分辨率離子顯微鏡

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