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有機材料熱蒸鍍設(shè)備

簡要描述:有機材料熱蒸鍍設(shè)備:該過程需要通過精確控制溫度和沉積速率來實現(xiàn)薄膜的高精度和均勻性。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2025-10-20
  • 訪  問  量:886

詳細介紹

品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,電子/電池

有機材料熱蒸鍍設(shè)備

有機金屬熱沉積系統(tǒng)是一種熱蒸發(fā)的方式,用於將有機或金屬材料沉積到基板表面上。該過程需要通過精確控制溫度和沉積速率來實現(xiàn)薄膜的高精度和均勻性。

為了達到此要求,有機材料熱沉積系統(tǒng)使用高精準熱蒸發(fā)源作為加熱源,並使用金屬、石英、陶瓷或PBN坩堝來容納有機材料以及PID控制器來控制其沉積速率。該系統(tǒng)通常用於有機電子研究領(lǐng)域,例如OPV、OLED、OPD... 

有機材料熱蒸鍍設(shè)備

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封裝系統(tǒng)

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SYSKEY針對研究等級的實驗室,推出玻璃對玻璃封裝的對位壓合機構(gòu)。我們整合塗膠系統(tǒng)(UV或liquid gate)和紫外光燈可安裝於手套箱或是獨立的一個壓合腔體內(nèi),且可手動進行放片,也可以透過自動傳片系統(tǒng)使用。可撓式OLED必須輕薄且具有可撓曲性,因此過往的玻璃材料並不適合用於此類的封裝,必須採用薄膜封裝技術(shù)(Thin-Film Encapsulation,TFE)或混和封裝技術(shù)。SYSKEY針對薄膜封裝推出電漿輔助式化學(xué)氣相沉積、原子層沉積和聚對二甲苯沉積等三種設(shè)備,且使用低溫的沉積技術(shù),分別在OLED 上堆疊多層薄膜(SiNX、SiOXNX、Al2O3、ZnO、Parylene)並得到更好的保護層,以減少水氧對於有機元件的影響,從而提高OLED面板的壽命和性能。

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應(yīng)用領(lǐng)域腔體
  • 有機發(fā)光二極體

  • 有機光伏打電池

  • 材料科學(xué)研究

 

  • 由304不銹鋼所製成,通過外部焊接304不銹鋼管線對腔體進行水冷

  • 寬大的前開式門,並有兩個視窗和

    視窗遮版用於觀察基材和蒸發(fā)源

  • 一個熱蒸發(fā)腔體內(nèi),最多可容納

    12組熱蒸發(fā)源

  • 腔體的極限真空度約為10-8 Torr。

配置和優(yōu)點選件
  • 客製化的基板尺寸,最大直徑為12寸晶圓或470 x 370 mm2(玻璃)

  • 優(yōu)異的薄膜均勻度小於±3%

  • 用於有機材料的蒸發(fā)源(可用金屬、陶瓷、石墨或PBN坩堝)

  • 鍍率自動控制:最小值為0.01?/s

  • 蒸發(fā)源溫度控制可達到精度±0.1oC

  • 具有順序操作或共沉積的多個蒸發(fā)源

  • 用CCD對位將玻璃基板和遮罩的

    位置對準在±5μm以內(nèi)

  • 每個蒸發(fā)源和基材均有安裝遮板。

  • 每個蒸發(fā)源和基板均裝有百葉窗。

  • 可以與傳送腔、機械手臂和手套箱整合在一起

  • 殘留氣體分析儀。

 


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