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            退火爐

            簡要描述:退火爐是用于制造半導體元件的制程方法。該制程包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理旨在達到不同的效果。可以加熱晶片以激活摻雜劑,使沉積的膜至密化,并改變生長的膜的狀態。

            • 產品型號:
            • 廠商性質:經銷商
            • 更新時間:2024-07-10
            • 訪  問  量:791

            詳細介紹

            品牌其他品牌應用領域環保,化工,電子/電池

            退火爐是用于制造半導體元件的制程方法。該制程包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理旨在達到不同的效果。可以加熱晶片以激活摻雜劑,使沉積的膜至密化,并改變生長的膜的狀態。暴露在高溫下可以修復損壞。該過程稱為退火。 爐子退火可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,也可以單獨處理。

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            退火爐技術參數

            應用領域腔體
            • 半導體。

            • MEMs。

            • 納米技術。

            • LED。

            • 太陽能電池產業。

            • 平板顯示器。

            • 通過使用加圈和水冷不銹鋼法蘭來控製石英管的溫度。

            • 爐管配置:水平,結合傳送機構。

            • 帶有視窗的手動爐門。


            配置和優點選件
            • 石英管尺寸:最大12英寸。

            • 單載片或多載片(最多50個晶圓)。

            • 控制精度:<±1°C。

            • 製程氣體:N2、Ar、H2。

            • 最高溫度:最高1700°C。

            • 抽氣閥件前端會有冷凍捕捉器。

            • 易於清潔和維護。

            • 和自動傳送組成在一起。







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