橢偏反射儀

寬的測量范圍

激光橢偏儀和反射儀的結合將透明薄膜的厚度范圍擴展到25μm，更多地取決于光度計的選項。

擴展激光橢偏儀的極限

性能優異的多角度手動角度計和角度精度*的激光橢偏儀允許測量單層薄膜和層疊膜的折射率、消光系數和膜厚。

SE 500adv結合了橢偏儀和反射儀，除了測量透明膜層厚度的模糊性。它把可測量的厚度擴展到25m，因此SE 500adv擴展了標準激光橢偏儀SE 400adv的能力，特別適用于分析較厚的介質膜、有機材料、光阻、硅和多晶硅薄膜。

SE 500adv可作為激光橢偏儀、膜厚探針和CER橢偏儀使用。因此，它提供了標準激光橢偏儀從未達到的大靈活性。作為橢偏儀，可以進行單角度和多角度測量。當用作膜厚探針時，在正常入射下測量透明或弱吸收膜的厚度。

SE 500adv中的橢偏測量和反射測量的組合包括橢圓測量光學部件、角度計、組合反射測量頭和自動準直透鏡、樣品臺、氦氖激光光源、激光檢測單元和光度計。

SE 500adv的選項支持在微電子、微系統技術、顯示技術、光伏、化學等領域的應用。